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真空系統(tǒng)排氣物理現(xiàn)象及其產(chǎn)生的原因



機(jī)械泵開(kāi)始工作前,系統(tǒng)各部分壓強(qiáng)相同.沒(méi)有氣體流動(dòng),泵啟動(dòng)后,氣體流動(dòng)特性將會(huì)改變,起初,當(dāng)機(jī)械泵啟動(dòng)瞬間,靠近進(jìn)氣口的氣體被抽走,進(jìn)氣口處壓強(qiáng)開(kāi)始降低,于是管道兩端開(kāi)始出現(xiàn)壓強(qiáng)差,氣體便沿著管道不斷地從容器流入泵內(nèi)。顯然,泵的抽速越大,壓強(qiáng)差改變?cè)酱蟆W詈,抽速受管道流阻的限制而不能提高。氣體流動(dòng)狀態(tài)經(jīng)過(guò)三種情況:分子碰撞頻繁的粘滯流(低真空)、分子主要與管壁碰撞的分子流(高真空)和介于二者之問(wèn)的過(guò)渡流(中真空)。共抽氣過(guò)程的物理現(xiàn)象,可人致分述如下:

1.從760托至1托的抽氣過(guò)程:在開(kāi)始抽氣時(shí),如果空氣巾相對(duì)濕度較大的話,則在開(kāi)始抽氣瞬間,就會(huì)出現(xiàn)奇怪的現(xiàn)象,即由于壓強(qiáng)突然降低引起的冷卻作用、被抽容器中的水蒸氣會(huì)凝聚成霧粒(在玻璃容器上可看的很清楚)。這種霧粒的湍急流動(dòng),是較高的氣體壓強(qiáng)和大流量的氣流特性的一種標(biāo)志。

當(dāng)被抽容器的壓強(qiáng)從760托降到大約1托時(shí),最明顯的變化是容器內(nèi)外的壓強(qiáng)差,約為每平方厘米面積上受力1公斤(或者14.7磅/英寸2)。例如鍍膜機(jī)一個(gè)15厘米直徑的觀察窗,玻璃就必須承受376斤重之力,對(duì)于一個(gè)電視顯像管的矩形屏面,受力則要達(dá)到“噸”的數(shù)量級(jí)。

在此過(guò)程中的另一有趣的變化就是容器中的殘余氣體成分逐漸變化。容器未抽氣前充滿(mǎn)了空氣,當(dāng)真空度逐漸升高時(shí),油脂和水分相繼燕發(fā),它們與其他殘氣成分互相作用轉(zhuǎn)化產(chǎn)生新的氣體、物質(zhì),使容器中殘氣成分比例發(fā)生根本改變。最后,系統(tǒng)中的殘余氣體,絕大部分成為雜質(zhì)氣體了。

2.從1托到10-4托以后的抽氣過(guò)程:這一過(guò)程中氣體的物理特性也發(fā)生很大變化,即氣體的導(dǎo)熱特性、放電特性、氣體的流動(dòng)特性(分子的平均自由路程)等性質(zhì)均改變了。對(duì)這些物理特性變化的研究,對(duì)于真空技術(shù)亦是至為重要的內(nèi)容(例如,利用不同真空度下的不同氣體特性,就可在工業(yè)的不同部門(mén)中應(yīng)用真空技術(shù))。

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