電子能譜儀對(duì)真空泵中真空度的要求是目前所有大型分析儀器中最高的，一般要優(yōu)于10-7Pa以上，一方面是因?yàn)闃悠钒l(fā)射出的光電子能最很低，為了減少電子向檢測(cè)器運(yùn)動(dòng)過(guò)程中與殘留氣體發(fā)生碰撞而損失信號(hào)強(qiáng)度，要求整個(gè)能譜儀各部件都處于真空條件;另一方面電子能譜儀是一種表面分析技術(shù)，從樣品中發(fā)射出的攜帶樣品信息的光電子通常來(lái)自表面層幾十個(gè)原子層厚度，因此需要提供一個(gè)原子數(shù)址級(jí)的清沽表面并能在一定時(shí)間內(nèi)保持這個(gè)清潔度，任何表面的沾污都將對(duì)分析產(chǎn)生不利的影響。很顯然，樣品表面受污染的程度與環(huán)境真空度有關(guān)，當(dāng)真空度為10-5Pa時(shí)，3s內(nèi)樣品表面便會(huì)吸附一層氣體分子，而當(dāng)真空度為10-7Pa時(shí)，吸附一個(gè)單分子層則需約lh，這個(gè)時(shí)間已能滿足分析的要求.一個(gè)好的真空系統(tǒng)應(yīng)能滿足高真空度(10-7Pa)、抽氣速率大、工作時(shí)噪聲小、無(wú)振動(dòng)、能烘烤等要求。目前用得較多的真空泵有油擴(kuò)散泵、渦能分子泵、升華鈦泵等。
